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1、集成電路制造技術(shù)一直按照摩爾定律不斷向前發(fā)展，提高光刻分辨力是現(xiàn)代光刻技術(shù)的核心內(nèi)容，而提高光刻分辨力的主要手段是進一步增大光刻物鏡的數(shù)值孔徑和縮短曝光波長，與此同時芯片尺寸越來越大，采用直接成像步進曝光的方式，光刻物鏡的難度已經(jīng)到了極點，采用193nm的曝光波長、大數(shù)值孔徑、狹縫視場結(jié)合掩模硅片步進掃描技術(shù)是光刻技術(shù)發(fā)展的必然。本論文系統(tǒng)研究步進掃描投影光刻機的原理，討論步進掃描光刻機的坐標體系及坐標系變換，分析對準方式和對準過程，在
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