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1、本文對ZnSe紅外窗口材料的化學(xué)機(jī)械拋光、拋光后性能、10.6μm增透膜的設(shè)計(jì)制備和鍍膜后的性能進(jìn)行分析。ZnSe是一種理想的紅外窗口材料，首先分析了ZnSe材料的力學(xué)光學(xué)性能，然后介紹了在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上所探索出了一套實(shí)用的、行之有效的整盤加工工藝，討論了影響拋光效率的因素以及加工過程對ZnSe材料的宏觀應(yīng)力的影響，并對加工后的ZnSe材料的工藝參數(shù)、表面質(zhì)量和透過率進(jìn)行測試，證明我們所采用的化學(xué)機(jī)械加工法是很高效實(shí)用的光學(xué)加工法。最
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