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文檔簡介
1、本文提出在電沉積過程中施加磁場特別是超導(dǎo)強(qiáng)磁場(>1Tesla)的設(shè)想,采用穩(wěn)恒電流法,在磁場中制備出銅及鉻電沉積層。應(yīng)用光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡及X射線衍射分析方法,探討磁場強(qiáng)度及磁場方向與電場的相對關(guān)系等對電沉積層表面形貌、側(cè)面晶粒及擇優(yōu)取向影響的基本規(guī)律。結(jié)合電磁場理論和電沉積理論,初步探索磁場對電沉積過程中的晶體形核與生長的影響機(jī)理,得到以下主要結(jié)論: 磁場下銅電沉積實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明: 1、施加10T垂直磁場時(shí),銅電沉積
2、層晶粒隨著電流密度的增加先增大后減?。欢┘?0T平行強(qiáng)磁場時(shí)當(dāng)J//G&B∥J時(shí),銅電沉積層晶粒則隨著電流密度的增加而增大; 2、施加強(qiáng)磁場可以顯著提高電解液的傳質(zhì)速度,因此可有效抑制濃差極化,從而抑制高電流密度下氫氣的析出; 3、由于垂直強(qiáng)磁場在陰極附近的亥姆霍茲層內(nèi)誘生微渦流,從而導(dǎo)致銅電沉積層晶粒細(xì)化;而施加平行磁場時(shí),由于離子遷移電流仍然存在垂直于磁場的分量,因此同樣導(dǎo)致銅電沉積層晶粒細(xì)化; 4、攪拌及
3、控溫50℃條件下,即使在高電流密度下10T磁場仍然能使電沉積層保持棱錐狀生長形態(tài); 5、當(dāng)施加垂直強(qiáng)磁場時(shí),隨著磁場強(qiáng)度的增加,(220)晶面擇優(yōu)取向指數(shù)有減少的趨勢;而施加平行強(qiáng)磁場時(shí),隨著磁場強(qiáng)度的增加,(220)晶面擇優(yōu)取向指數(shù)有增加的趨勢。 磁場下鉻電沉積實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:1、當(dāng)J⊥G&B//J(B<0.7T)時(shí),電流密度如小于1060A/m2,則陰極表面不能完全被金屬鉻覆蓋,電沉積層也不均勻;而10T垂直強(qiáng)磁場下,
4、當(dāng)電流密度小于2564A/m2時(shí),金屬鉻不能在基體上進(jìn)行電沉積。 2、弱磁場下,當(dāng)B⊥J時(shí),磁場對電沉積層的晶粒尺寸和形貌影響不大,而當(dāng)B//J時(shí),隨著磁場強(qiáng)度增加,電沉積層晶粒有減小的趨勢。 3、本文試驗(yàn)條件下,不管有無施加弱磁場,當(dāng)電流密度為4240A/m2時(shí),都是(110)晶面發(fā)生擇優(yōu)取向;當(dāng)電流密度為6360A/m2時(shí),無磁場、0.5T及B⊥J條件下,(211)晶面成為擇優(yōu)取向晶面,但是施加10T磁場時(shí),(110
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