微結(jié)構(gòu)振動特性的自由衰減測試方法.pdf

1、微懸臂梁和微薄膜是典型的微結(jié)構(gòu),在微納科學與技術(shù)領域有著廣泛的應用,而微結(jié)構(gòu)的機械特性又是設計、研發(fā)和使用過程中最為關心的參數(shù)之一.在原子力顯微鏡(AFM)的使用中,微懸臂梁的機械特性直接影響到原子力顯微鏡的成像質(zhì)量和測試精度；微薄膜在微電子技術(shù)、微電子機械系統(tǒng)及表面防護技術(shù)等方面有廣闊的應用前景. 本文在充分調(diào)研的基礎上,結(jié)合顯微激光多普勒技術(shù),提出了脈沖激勵信號作用下的自由衰減測試方法,基于虛擬儀器技術(shù),組建了以激光多普勒測

2、振儀為核心的微結(jié)構(gòu)離面運動測試系統(tǒng)。實現(xiàn)了對微結(jié)構(gòu)的運動速度、固有頻率、阻尼比以及品質(zhì)因數(shù)和楊氏模量等特性的準確、快速測量.論文的主要工作包括以下幾個方面: 1.從理論上仔細分析了顯微激光多普勒測試技術(shù)的測量原理,完成了測試系統(tǒng)軟、硬件的連接和調(diào)試以及微結(jié)構(gòu)激勵裝置的設計與制作； 2.通過GPIB總線控制激光多普勒測振儀的控制器和信號發(fā)生器以提高測試過程的自動化程度,使建立的自動化測量系統(tǒng)具有良好的通用性和可擴展性,并提