輝光放電等離子體激發(fā)源驅(qū)動控制電路設計.pdf

1、輝光放電原子發(fā)射光譜儀（Glow Discharge Optical Emission Spectrograph，GD-OES）是近年來出現(xiàn)的用于物質(zhì)表面化學成分檢測的現(xiàn)代分析儀器。GD-OES能夠直接分析固體樣品，并且可以進行樣品表面逐層分析，在電鍍層、超硬涂層、表面處理、金屬材料檢驗等材料測試研究，以及產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量檢驗、生產(chǎn)工藝參數(shù)控制、商檢等領(lǐng)域均有廣泛用途。目前輝光光譜儀生產(chǎn)廠商較少，我國尚無輝光放電原子發(fā)射光譜儀商品儀器生產(chǎn)廠

2、家。所以，對輝光光譜儀及其相關(guān)技術(shù)的研究很有必要。
　　輝光光譜儀激發(fā)源是輝光光譜儀技術(shù)研究的主要熱點之一。本工作對用于驅(qū)動激發(fā)源的恒流源以及激發(fā)源的自動控制電路做了相應設計和研究。
　　本文詳細介紹了研制的GD-0411型輝光放電光譜儀等離子體激發(fā)源用高穩(wěn)定度直流高壓恒流源的電路和工作原理。其開路電壓為1.1KV，輸出電流為0～100mA連續(xù)可調(diào)，負載調(diào)整率和輸入電壓變化調(diào)整率均優(yōu)于0.05％。用研制的恒流源驅(qū)動Grimm

3、型輝光放電室成功的濺射了磷銅片、鍍鋅板、標鋼等樣品，測試出了在不同氣壓、電流工作條件下濺射速率為10nm/s～140nm/s，給出了采用Dektak8型表面形貌儀測量的濺射坑的表面形貌圖。實際測試了GBSA6800x標準鋼樣中的Cr、Cu、Al、W四種元素含量，測試結(jié)果相對標準偏差（RSD）均優(yōu)于2.5％。
　　本文還介紹了輝光放電光譜儀激發(fā)源的計算機控制方案，給出了自動控制電路，介紹了編寫控制程序。實現(xiàn)了射頻功率源輸出功率的控制