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文檔簡介
1、本文研究了電容傳感器測量電路的應(yīng)用背景和國內(nèi)外研究現(xiàn)狀,針對水銀電容加速度傳感器的輸出背景電容大、變化量相對小的特點,選擇了基于電荷放大原理的電容測量電路.該電路性能好,精度高.綜合國內(nèi)外研究分析,可見電容傳感器有相當(dāng)廣闊的應(yīng)用前景.本文圍繞三維水銀電容加速度傳感器的設(shè)計,詳細(xì)分析了兩大部分的內(nèi)容:基于專用集成電路的微小電容測量電路和便于多電極電容測量的基于電荷放大原理的微小電容測量電路.第一部分,詳細(xì)探討了專用集成電路QTM2000模
2、塊的功能、特性和工作原理,論述了基于專用集成電路的微小電容測量電路的工作原理和具體的設(shè)計方法.實驗研究結(jié)果表明,該電路的原理方案正確、可行,并已達(dá)到了課題的要求.第二部分,詳細(xì)探討了便于多電極電容測量的基于電荷放大原理的微小電容測量電路的工作原理和設(shè)計方法,并重點論述了開關(guān)的電荷注入效應(yīng)對測量分辨率的影響問題和解決的方法.實驗結(jié)果表明,該電路的原理方案正確、可行,并已基本達(dá)到了測量小電容的目的.另外,本文還探討了多電極的微小電容測量電路
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