多晶硅太陽電池表面織構(gòu)化工藝的研究.pdf

1、表面織構(gòu)化(制作絨面)是提高太陽電池效率的重要手段。多晶硅表面織構(gòu)工藝，目前在工業(yè)化生產(chǎn)中還沒有全面推廣。如何判絨面的質(zhì)量，以及如何實現(xiàn)穩(wěn)定的工業(yè)生產(chǎn)等問題還有待解決。本文研究了以硝酸和氫氟酸為基礎的腐蝕液對多晶硅表面的化學腐蝕。 酸的濃度對硅片的微觀形貌、腐蝕速率、溶液穩(wěn)定性等方面的有較大影響。硝酸或氫氟酸濃度的微小變化都會影響硅片表面形貌，因此要保證絨面形貌，必須嚴格控制溶液濃度，使之保持在一定的濃度范圍。在大批量工業(yè)生產(chǎn)中

2、，隨著酸的消耗，必然導致溶液濃度的變化，及時調(diào)整溶液濃度是保證工業(yè)生產(chǎn)的一個關鍵問題。 微觀形貌對電池生產(chǎn)工藝和電池性能有一定的影響。反射率較低的樣品，晶體缺陷處和晶界處會被腐蝕得比較深，對清洗、鈍化、印刷電極等造成不利影響；反射率較高的樣品，有比較平整的表面形貌，但陷光效果不理想。如何兼顧光學性能和電學性能，選擇最合適的微觀形貌，是制作多晶硅絨面要解決的一個主要問題。 本文應用絨面技術工藝，在125mm×125mm的多