基于Ba鐵氧體低溫共燒陶瓷及無源LTCC器件設計.pdf

1、本文以具有高截止頻率的六角鐵氧體為基礎，開展了50MHz～1GHz的Z型六角鋇鐵氧體電磁性能的研究，并通過凝膠自燃法實現(xiàn)了低溫燒結。在以此材料為基礎設計了多層片式電感，初步探討了金屬導線的布置結構及通孔對電感元件的一些參數(shù)的影響。并將此材料應用在LTCC工藝中，試制出濾波器樣品。在此過程中得到一些有意義的結果： 1在凝膠自燃法的基礎上，采用二次球磨加Bi2O3的方法可獲得性能較好的低溫燒結Co2Z鐵氧體。 2Sr取代Ba

2、的量增加，材料的截止頻率將增大，復數(shù)磁導率將變??；當少量Zn取代Co時，隨著Zn取代量的增加，截止頻率向低頻移動，磁導率增加，Q值總體下降。Cu取代Co時，隨著Cu的增加，材料的介電常數(shù)減小，介電損耗的峰值向高頻方向移動。 3金屬導線離地的距離越小，有效電感值Leff、品質因子Q、自諧振頻率SRF也越小；線圈圈數(shù)增加，Leff增加，Q值和自諧振頻率SRF下降；線寬增加，Leff下降自諧振頻率增大Q值幾乎不變；通孔大小、覆蓋層的大