現(xiàn)代化液晶工廠潔凈空調(diào)監(jiān)控系統(tǒng)的建立.pdf

1、隨著現(xiàn)代科技的不斷發(fā)展，先進(jìn)的半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)工廠，將擺脫過去的傳統(tǒng)運(yùn)行模式和設(shè)備日常維護(hù)方法。為了更好的提高設(shè)備運(yùn)行效率，促進(jìn)系統(tǒng)設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，很多現(xiàn)代化工廠等都已開始建立起一套基于設(shè)備總線、現(xiàn)場總線和以太網(wǎng)通信網(wǎng)絡(luò)的監(jiān)控系統(tǒng)。網(wǎng)絡(luò)通信作為一個(gè)新興的信息傳輸方向，給人們的信息交互帶來極大的便利。首先網(wǎng)絡(luò)的快速發(fā)展為通信提供了一種靈活便利的通信鏈路，其次網(wǎng)絡(luò)傳輸更容易實(shí)現(xiàn)信息的交互和交流。網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，是一種通過網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程

2、交互監(jiān)視控制的技術(shù)，能夠遠(yuǎn)程傳輸，實(shí)現(xiàn)了在本地和遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)視等功能。 SCADA(Supervisory Control And Data Acquisition)監(jiān)控系統(tǒng)，即遠(yuǎn)程控制和數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視系統(tǒng)。SCADA系統(tǒng)是以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過程控制與調(diào)度自動化系統(tǒng)。它可以對現(xiàn)場的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號報(bào)警等各項(xiàng)功能。 SCADA系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域很廣，它可以應(yīng)用于石油、

3、化工、電力系統(tǒng)、給水系統(tǒng)、市政等領(lǐng)域的數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制以及過程控制等諸多領(lǐng)域。在電力系統(tǒng)以及電氣化鐵道上又稱遠(yuǎn)動系統(tǒng)。 潔凈室的由來：早期，第一批潔凈室最早出現(xiàn)于醫(yī)院。勞得·李斯特意識到細(xì)菌可引起外科傷口的感染，這就是他的歷史性貢獻(xiàn)。他想到，從手術(shù)室中清除細(xì)菌應(yīng)可防止感染。這就是第一批潔凈室的科學(xué)理論基礎(chǔ)。 潔凈室是液晶顯示器生產(chǎn)車間的關(guān)鍵設(shè)施，其中HVAC（Heating，Ventilating and Air-Co

4、nditioning. 供暖、通風(fēng)及空調(diào)）系統(tǒng)對于潔凈室環(huán)境至關(guān)重要，維持潔凈室一定的溫、濕度與潔凈度，為生產(chǎn)工藝過程提供良好的生產(chǎn)環(huán)境，從而提高整個(gè)生產(chǎn)良品率。 本論文將介紹如何根據(jù)SVA-NEC LCD（Liquid Crystal Display）液晶工廠的現(xiàn)場實(shí)際情況，通過對SCADA監(jiān)控系統(tǒng)的系統(tǒng)原理和網(wǎng)絡(luò)通信等方面的分析，進(jìn)行潔凈室空調(diào)SCADA監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和最終的項(xiàng)目建立。監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)共由3層網(wǎng)絡(luò)組成，分別為

5、CLK1,CLK2和上層以太網(wǎng)絡(luò)。CLK(Controller Link)是一種FA（Factory automation工廠自動化）網(wǎng)絡(luò)，OMRON（歐姆龍）的多種機(jī)型可以通過它輕易地進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。CLK網(wǎng)絡(luò)支持?jǐn)?shù)據(jù)共享和信息服務(wù)的數(shù)據(jù)鏈接功能，可以在需要通信時(shí)發(fā)送和接收數(shù)據(jù)。這套監(jiān)控系統(tǒng)是通過歐姆龍公司的PLC（Programmable logic Controller）進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，在Rockwell（羅克韋爾）公司的RSview