IIL單元電路的工藝制造方法淺談.pdf

1、當今社會,消費類電子產品已經被大眾普遍接受和追捧。但隨著集成電路的大量應用和相關電子產品競爭的日益激烈,更好的節(jié)約成本進而贏得利潤成為商家尤為關注的焦點。本文以實際生產制造過程中,某芯片采用的一種特殊工藝單元結構集成注入邏輯為研究對象,對該單元器件的功能以及如何實現(xiàn)并優(yōu)化大規(guī)模加工工藝進行探究。最終確定了該產品的工藝加工流程,并實現(xiàn)風險量產,成為公司雙極型工藝平臺上一個極具競爭力和有特色的產品。
　　 集成注人邏輯電路(Inte

2、gration Injection Logical Circuit,后文簡稱IIL電路)是在常規(guī)雙極型集成電路工藝的基礎上經過改進而成的一種高集成密度、雙極型邏輯電路。它是一種單端輸入、多端輸出的反相器?；締卧ǔＳ梢粋€橫向PNP管和一個倒置的多集電極NPN管組成,這兩個管子有兩對電極是共用的,即PNP管的集電極和NPN管的基極共用,PNP管的基極和NPN管的發(fā)射極共用,二者相互耦合成一個統(tǒng)一的整體,因此也將IIL電路稱為并合晶體管邏

3、輯電路。
　　 從問世以來,IIL電路由于它的電路結構簡單,元件少,不需要隔離,結構緊湊,不用電阻、使用獨特的并合PNP-NPN器件,在低功耗下有著相對較高的速度,克服了雙極型電路在大規(guī)模集成時所遇到的種種困難?？芍^給雙極型集成電路的芯片設計提供了新途徑,再加上此種結構電路的工藝與其他雙極型集成電路兼容性很好,無需增加任何特殊工藝步驟或加工層次,從而大大降低制造成本。IIL電路能使設計人員把數(shù)字電路和模擬電路放在同一塊芯片中,用

4、來制造高性能、低成本的數(shù)字/模擬混合的LSI和VLSI電路。
　　 本論文會針對標準的IIL電路如何具體應用于實際電路加工工藝中進行詳盡地闡述,期間對于工藝上遇到的諸多問題都會通過基于實際產品工程投產中的實驗設計和實驗結果進行探索與討論,盡可能在實現(xiàn)客戶要求的同時,完善該單元結構的各種性能。文中所引用的實驗數(shù)據(jù)真實可靠,具有很好的工藝借鑒價值,因為IIL電路在工藝制造上有一定難度,不是所有集成電路廠家都有這方面的數(shù)據(jù)積累。文中闡