基于節(jié)點分析法的MEMS行為級可視化建模與仿真系統(tǒng).pdf

1、MEMS與IC之間最大的區(qū)別就是MEMS具有三維拓撲結構并且具有機械運動特性,因此,在MEMS的設計過程中就需要考慮所設計的器件其機械性能是否達到設計的要求。這就需要MEMS設計工具能夠提供一種快速、直觀、準確的MEMS器件行為級建模與仿真功能。然而隨著MEMS器件結構的復雜化,對于MEMS器件機械性能的仿真越來越復雜,往往會涉及多能域的問題,而且現(xiàn)有的MEMS行為級仿真工具所提供的仿真結果多為數(shù)值形式,對于具有三維拓撲結構的MEMS器

2、件來說,這樣的仿真工具缺乏直觀的表達,因此,對MEMS行為級可視化建模與仿真系統(tǒng)的研究具有十分重要的意義。 本文以MEMS的系統(tǒng)級仿真方法--節(jié)點分析法為基礎,以虛擬現(xiàn)實技術為工具,提出了可視化的MEMS行為級建模與仿真系統(tǒng)。并結合可擴展的參數(shù)化IP庫,實現(xiàn)設計的可重用性,最終形成了以參數(shù)化IP庫為核心,節(jié)點分析法為基礎,廣泛應用虛擬現(xiàn)實技術的可視化MEMS行為級建模與仿真系統(tǒng)。整個系統(tǒng)包含了兩項關鍵技術：可視化建模技術--虛擬

3、組裝、可視化仿真技術--虛擬運行。 基于節(jié)點分析法的虛擬組裝在傳統(tǒng)三維實體建模理論的基礎上,體現(xiàn)了節(jié)點分析法的核心思想,即部件之間的組裝表現(xiàn)為各個部件節(jié)點之間的連接。這就決定了虛擬組裝不只是器件拓撲結構的組裝,而且包含了器件中各個部件物理規(guī)律的組裝,通過節(jié)點相互連接的部件之間具有連續(xù)變化的物理參數(shù)。虛擬組裝以IP庫中儲存的部件作為組裝的來源,組裝后生成的器件模型可以導入到虛擬運行中進行行為級的仿真過程。 基于節(jié)點分析法的