大面積大行程激光投影成像曝光機(jī)工作臺(tái)的研究.pdf

1、高精度和高分辨率的精密宏、微位移工作臺(tái)系統(tǒng)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位，它直接影響精密、超精密加工精度、精密測(cè)量精度及超大規(guī)模印制電路板和液晶顯示器的生產(chǎn)水平. 本文通過(guò)對(duì)工作臺(tái)本身機(jī)構(gòu)需求穩(wěn)定的研究，采用了主動(dòng)與被動(dòng)相結(jié)合的混合振動(dòng)隔離系統(tǒng)，為平臺(tái)微納米測(cè)量和運(yùn)行提供一個(gè)良好的隔振環(huán)境，并進(jìn)行了隔振系統(tǒng)被動(dòng)隔振性能的測(cè)試分析與主、被動(dòng)混合隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研究，被動(dòng)隔振系統(tǒng)的兩級(jí)被動(dòng)隔振的隔振性能明顯優(yōu)于單

2、級(jí)被動(dòng)隔振系統(tǒng)。 本文通過(guò)對(duì)構(gòu)成激光干涉理論及技術(shù)的研究，研究激光干涉的三要素，即光源、干涉儀結(jié)構(gòu)和干涉信號(hào)處理方法，得出雙頻激光干涉儀具有激光光源頻率穩(wěn)定度高、單色性好的，徹底克服了單色光源對(duì)于干涉儀結(jié)構(gòu)的限制，是很好的測(cè)量和反饋系統(tǒng)。 本文研究了針對(duì)工作臺(tái)X、Y方向分別做直線和步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)做了研究，認(rèn)為通過(guò)PID方式控制的直線電機(jī)和閉環(huán)反饋伺服電機(jī)能夠在精度、速度和通過(guò)多功能控制器PMAC使得其可控制性都能很好的滿