硅芯爐控制系統(tǒng)的研制.pdf

1、多晶硅作為信息產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的原材料，隨著單晶硅市場(chǎng)急劇擴(kuò)大而引起了嚴(yán)重的資源匱乏問(wèn)題。2004年1月19日，由洛陽(yáng)中硅高科技有限公司試驗(yàn)成功了我國(guó)第一臺(tái)12對(duì)棒多晶硅高效節(jié)能大還原爐。但是該設(shè)備需要在硅芯載體上進(jìn)行多晶硅的生產(chǎn)。因而，大規(guī)模生產(chǎn)硅芯就成為急需解決的問(wèn)題。 本課題在介紹硅芯爐設(shè)備工作原理的基礎(chǔ)上，主要對(duì)硅芯爐控制系統(tǒng)進(jìn)行研制。通過(guò)分析不同的控制要求，設(shè)計(jì)了慢速系統(tǒng)、快速系統(tǒng)和籽晶托盤(pán)控制系統(tǒng)，并對(duì)每個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)思路和工作原理進(jìn)

2、行了詳細(xì)闡述?？紤]到產(chǎn)量和材料消耗的問(wèn)題，本硅芯爐設(shè)備通過(guò)增加一個(gè)籽晶托盤(pán)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，可以連續(xù)生長(zhǎng)六根直徑為七到八個(gè)毫米的晶棒，這是本課題的創(chuàng)新之處。 在設(shè)計(jì)過(guò)程中，通過(guò)反復(fù)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使設(shè)備達(dá)到了較為理想的工作狀態(tài)，滿足了晶體生長(zhǎng)的需要。 該硅芯爐設(shè)備已投入生產(chǎn)應(yīng)用中，并且各項(xiàng)運(yùn)行指標(biāo)良好，特別是采用了籽晶托盤(pán)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，大大地提高了生產(chǎn)效率和降低了能耗，這標(biāo)志著徹底打破了國(guó)外對(duì)我國(guó)多晶硅技術(shù)的封鎖。為改變我國(guó)硅片生產(chǎn)行業(yè)多晶硅長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)