基于PLC的多晶硅熔煉爐控制系統(tǒng).pdf

1、本論文所研究的多晶硅熔煉爐主要由真空控制系統(tǒng)，溫度控制系統(tǒng)和機械傳動控制系統(tǒng)三部分組成。真空控制系統(tǒng)主要負責(zé)保持爐體內(nèi)部真空度達到工作要求。溫度控制系統(tǒng)主要負責(zé)控制爐內(nèi)溫度按照設(shè)定的溫度曲線運行。機械傳動部分負責(zé)爐底散熱板的精確位置控制。這三個部分的相互協(xié)調(diào)合作共同保證了多晶硅長晶過程順利完成。
　　目前，可編程控制器(PLC)和組態(tài)應(yīng)用以及通訊技術(shù)在工業(yè)控制領(lǐng)域十分熱門。由于PLC的高速發(fā)展，PLC的優(yōu)點越來越突出，比如，應(yīng)用方

2、便、可靠性高、抗電磁干擾性能好，環(huán)境適應(yīng)性強、完善和成熟的工控網(wǎng)絡(luò)體系，這使得PLC在工業(yè)自動控制過程中得到了越來越廣泛的應(yīng)用。組態(tài)軟件作為一個開放性的軟件平臺，可以使用戶根據(jù)自己需要搭建特定功能的人機界面，用戶通過人機界面和PLC可以直觀簡便地控制自動化設(shè)備。
　　本系統(tǒng)中由PLC和組態(tài)軟件共同完成現(xiàn)場設(shè)備數(shù)據(jù)的采集以及對閥門、伺服電機、中頻電源等設(shè)備的控制。爐底的散熱板的位置控制通過伺服電機完成。利用組態(tài)軟件Kingview良