激光打標(biāo)的物理機(jī)制研究.pdf

1、激光打標(biāo)技術(shù)在近年來(lái)得到了快速的發(fā)展和廣泛的應(yīng)用，已經(jīng)成為了一種重要的標(biāo)刻手段。由于技術(shù)成熟、使用壽命長(zhǎng)、加工精度好、效率高等優(yōu)點(diǎn)，二氧化碳激光器和Nd：YAG激光器在激光打標(biāo)中占有很大的席位。它們分別發(fā)射10.6μm和1.06μm的紅外激光。但是某些材料對(duì)紅外激光吸收率不高，為獲得清晰的標(biāo)刻效果，就需要增加激光光源的功率和重復(fù)率。這樣做帶來(lái)的問(wèn)題是對(duì)材料的非標(biāo)刻區(qū)的熱損傷及熱擴(kuò)散比較嚴(yán)重、加工精度不高、打標(biāo)效果不好。這些缺點(diǎn)在某些應(yīng)用

2、中是無(wú)法接受的，因此開(kāi)發(fā)其它波長(zhǎng)的激光打標(biāo)光源就顯得勢(shì)在必行了。目前國(guó)內(nèi)外都在大力發(fā)展紫外激光打標(biāo)，如準(zhǔn)分子激光和二極管泵浦紫外激光(DPSS)打標(biāo)，由于某些材料(特別是金屬材料)對(duì)紫外光的吸收大，并且由于紫外激光具有很短的脈沖寬度，激光對(duì)材料的作用只發(fā)生在材料的最表層，因此紫外激光被稱(chēng)為“冷激光源”。這樣就彌補(bǔ)了以上兩種紅外激光器的缺陷。 本文試圖從理論上研究激光光源打標(biāo)的物理機(jī)制，并給出一些定量的計(jì)算結(jié)果對(duì)不同波長(zhǎng)激光在不同