PIN型非晶硅太陽能電池ZnO：Al-Al復(fù)合背反射電極的研究.pdf

1、非晶硅太陽能電池目前主要存在的問題，一是轉(zhuǎn)換效率低，二是穩(wěn)定性不好。 ZnO:Al/Al 復(fù)合背反射電極的應(yīng)用可以增加光在電池I 層的光程，從而增加了I 層對(duì)光的吸收，提高了電池的效率。此外，增加了ZnO:Al/Al 復(fù)合背反射電極后在同樣的效率下可以減薄I 層，增加電池的穩(wěn)定性。對(duì)ZnO:Al/Al 復(fù)合背反射電極的研究主要集中在電池n層和ZnO:Al 薄膜的匹配。 本論文對(duì)電池的n 層沉積條件和ZnO:Al 薄膜的磁

2、控濺射條件進(jìn)行了研究，目的就是找出電池N 層和ZnO:Al 薄膜的最佳匹配條件。 對(duì)于電池N 層的研究，試驗(yàn)中固定了ZnO:Al 薄膜的磁控濺射條件，研究不同n 層沉積條件下制得的電池在增加ZnO:Al/Al 復(fù)合背反射電極后電池性能的改變，最終得出電池在沉積溫度為190 ℃，沉積時(shí)間為40 分鐘，硅烷濃度為0.75％SC 時(shí)得到的電池性能最好。 對(duì)于ZnO:Al 薄膜的研究，試驗(yàn)中固定電池的沉積條件，研究不同的濺射條件

3、下制得的ZnO:Al 薄膜用在電池上對(duì)電池性能的影響，來確定ZnO:Al 薄膜的最佳濺射條件。試驗(yàn)最終得出最佳的磁控濺射條件：小車運(yùn)行次數(shù)為7 次、濺射氬氣和氧氣的流量比為18：2.5、濺射靶距為5 cm、濺射反應(yīng)壓力為3.5 mtorr 時(shí)制得的ZnO:Al 薄膜和電池N 層的匹配最好。 本論文還對(duì)ZnO:Al/Al 復(fù)合背反射電極應(yīng)用在天津市津能電池科技有限公司生產(chǎn)的電池上的濺射條件進(jìn)行了研究。找出了最佳的濺射條件，使得電池