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文檔簡介
1、本文主要研究了旋轉(zhuǎn)載體驅(qū)動硅微機械陀螺的加工技術(shù)和接口電路。旋轉(zhuǎn)載體驅(qū)動硅微機械陀螺是一種無自主驅(qū)動結(jié)構(gòu)的硅微機械陀螺。該陀螺利用旋轉(zhuǎn)載體的自旋作為陀螺敏感結(jié)構(gòu)的驅(qū)動，可敏感垂直于載體自旋軸方向的角速度和載體轉(zhuǎn)速。針對該陀螺的特點，在力學基礎(chǔ)上利用坐標變換和力矩分析的方法，建立了陀螺的動力學模型，分析了它的工作原理；根據(jù)旋轉(zhuǎn)載體驅(qū)動硅微機械陀螺結(jié)構(gòu)上的特點和性能指標的要求，并結(jié)合體硅微機械加工技術(shù)的特點，研究分析了陀螺敏感結(jié)構(gòu)各部分的加
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