MEMS微型可編程光柵技術(shù)研究.pdf

1、基于光柵技術(shù)的光譜分析在物理、化學(xué)、天文、生物、冶金學(xué)及其他分析領(lǐng)域起著重要的作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)光柵技術(shù)提出了更高的要求，對(duì)新型光柵的研究也受到更加廣泛的重視。MEMS技術(shù)的出現(xiàn)與發(fā)展提供了能根據(jù)實(shí)際情況實(shí)時(shí)改變結(jié)構(gòu)參數(shù)的光柵——MEMS微型可編程光柵。這種光柵通過靜電驅(qū)動(dòng)的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵的結(jié)構(gòu)單元——微變形梁的編程控制。MEMS微型可編程光柵不僅擴(kuò)展了光柵在傳統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)揮巨大作用，同時(shí)促進(jìn)其在光通訊等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。因此，對(duì)M

2、EMS微型可編程光柵的研究具有重要的研究意義。 本文針對(duì)MEMS微型可編程光柵的衍射特性、機(jī)械特性等進(jìn)行了理論分析和仿真，并對(duì)它的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)、加工工藝等一系列關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究。論文的主要研究?jī)?nèi)容包括： 1.研究MEMS微型可編程光柵的衍射特性，對(duì)光柵衍射單元微梁數(shù)和各個(gè)微梁的高度對(duì)衍射特性的影響進(jìn)行分析，并推導(dǎo)出它的衍射公式。 2.研究作為MEMS微型可編程光柵的結(jié)構(gòu)單元的微變形梁的Pull-in現(xiàn)象，并設(shè)計(jì)