基于頻閃成像的MEMS-DMs動靜態(tài)特性測試.pdf

1、MEMS技術(shù)應(yīng)用日趨廣泛，但相對落后的測試手段成為MEMS技術(shù)發(fā)展的瓶頸。研究如何在 MEMS 運動過程中記錄瞬間運動狀態(tài)，并恢復(fù) MEMS 表面的離面運動歷程，則是 MEMS 動態(tài)測試技術(shù)的關(guān)鍵。本文在充分調(diào)研的基礎(chǔ)上，結(jié)合頻閃成像技術(shù)和相移顯微干涉技術(shù)，建立了MEMS-DMs靜態(tài)及離面運動測試系統(tǒng)，提出新的用于恢復(fù)離面運動信息的雙向相位展開算法，提出了基于可靠性的相位解纏算法，并實現(xiàn)對可變形反射鏡（DMs）的特性測量。論文的主要工作

2、包括以下幾個方面： (1) 分析了MEMS-DMs（可變形反射鏡）的特點，為測試方法的運用提供了依據(jù)，并提出了一種新的基于MEMS技術(shù)的帶透明電極的可變形反射鏡的設(shè)計，較為詳細地介紹了其研制方法。 (2) 論文仔細分析了相移顯微干涉測試技術(shù)的原理，分別從干涉顯微鏡的光學(xué)結(jié)構(gòu)布局、相移干涉術(shù)和離面高度相位計算三部分，詳細剖析等步長相移微視覺干涉的技術(shù)細節(jié)，并對各個部分中存在的方法或算法進行系統(tǒng)的分析。提出了一種新的相位解纏

3、的算法，并且利用matlab驗證了此種算法的可靠性。 (3) 建立 MEMS 離面運動測試系統(tǒng)，在此基礎(chǔ)上，先后完成LED 光源的選擇和性能分析，驅(qū)動電路的修改和調(diào)試，高壓運放電路的修改和調(diào)試，任意波形發(fā)生器的調(diào)試等，完成了系統(tǒng)各部分的連接。并且提出基于頻閃成像技術(shù)的沿時間軸和空間軸的雙向相位展開算法，獲得了具有時間分辨率的3D形貌圖。 (4) 采用虛擬儀器技術(shù)建立頻閃成像同步控制系統(tǒng)。工作包括硬件的搭建，激勵信號和控制