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文檔簡介
1、透明導電氧化物薄膜集對可見光的良好透過率和高的電導率于一身,使得這類材料在太陽電池、液晶及等離子體高清晰顯示、智能視窗以及建筑物的節(jié)能玻璃窗等諸多領(lǐng)域都獲得了廣泛的應(yīng)用。 本論文對ITO、ZnO:B和ZnO:Al薄膜的結(jié)構(gòu)、電輸運性質(zhì)和光學性質(zhì)進行了系統(tǒng)的實驗研究,并采用基于密度泛函理論的局域密度近似方法計算了ZnO、ZnO:B和TiO2、TiO2:Nb的電子結(jié)構(gòu)和光學性質(zhì)。 在基片溫度T≤100℃時得到的ITO薄膜是具
2、有半導體導電特性的非晶薄膜?;瑴囟萒≥120℃時得到的多晶薄膜在高溫(>100 K)時表現(xiàn)為金屬導電特性,在較低溫度(T<80 K)電阻溫度系數(shù)變?yōu)樨撝?,而薄膜的磁電導均為正值。研究發(fā)現(xiàn),負的電阻溫度系數(shù)來源于弱局域效應(yīng)及庫侖相互作用對載流子輸運的影響,并且,電子-電子散射是樣品中主要的非彈性散射過程。 在基片溫度為150℃下制備了具有金屬導電特性的ZnO:B薄膜,通過對樣品的磁電阻數(shù)據(jù)進行分析,發(fā)現(xiàn)其中負的部分來源于弱局域效
3、應(yīng),而正的部分可用二能帶模型很好地描述,并且,低溫下載流子的非彈性散射主要是電子-電子散射,而庫侖相互作用是樣品低溫下反常電導率的主要來源。 在不同厚度(463.63 nm、203.03 nm和66.85 nm)的ZnO:Al薄膜中觀察到的負的磁電阻部分并非來自弱局域效應(yīng),而是來源于局域磁矩對傳導電子的散射。 第一性原理計算顯示,ZnO的費米能級位于帶隙中,顯示出半導體特性,導帶底起伏較大,說明其中載流子有效質(zhì)量較小。Z
4、nO:B的費米能級位于導帶,顯示了金屬導電性,價帶項與費米能級間的能量差大于純ZnO的帶隙,施主能級位于導帶,在帶隙中未觀察到雜質(zhì)能級,這與實驗上得到的ZnO:B的載流子濃度與溫度無關(guān)相對應(yīng)。 TiO2:Nb的費米能級位于導帶,表現(xiàn)出金屬特性:價帶頂與費米能級間的能量差大于純TiO2的帶隙,這可以解釋實驗上觀察到的當Nb摻入TiO2時的藍移現(xiàn)象;光學性質(zhì)計算給出,基本吸收邊位于可見光光予能量以上,在高于和低于基本吸收邊均有吸收
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