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文檔簡介
1、本文綜述了MEMS技術(shù)的內(nèi)容、特點(diǎn)、應(yīng)用和國內(nèi)外發(fā)展情況。介紹了微執(zhí)行器的驅(qū)動(dòng)方式及各自的優(yōu)缺點(diǎn)、靜電梳齒結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)和應(yīng)用以及靜電梳齒結(jié)構(gòu)的工作原理。以微諧振器中一種典型的靜電梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)為研究對(duì)象，分析了結(jié)構(gòu)所受的靜電力及在靜電力作用下的位移；提出了兩種不同的等效模型：一種是前人提出的均質(zhì)彈簧彎曲振動(dòng)模型，另一種是本文提出的將結(jié)構(gòu)等效成一個(gè)自由端帶有集中質(zhì)量塊的懸臂梁彎曲振動(dòng)模型。在懸臂梁彎曲振動(dòng)模型的基礎(chǔ)上，采用振動(dòng)理論方法建立了無
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