已閱讀1頁，還剩48頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、用直流磁控濺射法制備了超坡莫合金NiFeSiMoMn(20nm~3000nm)單層膜、NiFeSiMoMn(20nm ~200nm)/Cu(50nm)雙層膜和NiFeSiMoMn/CuINiFeSiMoMn三明治膜.通過降低濺射速率和在基底上沉積30nm的Tabuffer(緩沖層),解決了難以濺射生長厚膜的問題,成功制備了厚度3μm的單層膜和每層厚度2.6μm的三明治膜.單層膜隨著厚度的增加呈現(xiàn)非晶態(tài),1000nm 以上為完全非晶態(tài).膜
2、的軟磁性能隨厚度的增加迅速變差,認(rèn)為是熱應(yīng)力太大造成的.在基底的橫向施加了800Oe的濺射磁場,提高了膜的各向異性.在真空條件下400℃加15Oe磁場退火1小時(shí)后,樣品軟磁性能得到較大改善.制備態(tài)樣品Cu的擴(kuò)散深度為4.6nm,400℃退火態(tài)樣品Cu的擴(kuò)散深度超過20nm.Cu的擴(kuò)散深度呈現(xiàn)隨退火溫度的升高迅速增加的趨勢.制備態(tài)雙層膜比同厚度的單層膜的軟磁性能要好,認(rèn)為Cu克當(dāng)buffer層有利于NiFeSiMoMn膜的成膜質(zhì)量.退火后
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 軟磁合金的巨磁阻抗效應(yīng)研究.pdf
- 摻雜對FeZrB合金薄膜巨磁阻抗效應(yīng)的影響.pdf
- NiFeSiMnMo三明治膜巨磁阻抗效應(yīng)的研究.pdf
- 三明治結(jié)構(gòu)多層膜巨磁阻抗效應(yīng)研究.pdf
- 非晶軟磁合金薄帶的巨磁阻抗效應(yīng).pdf
- 復(fù)合結(jié)構(gòu)絲巨磁阻抗效應(yīng)的研究.pdf
- “三明治”多層膜巨磁阻抗效應(yīng)的理論研究.pdf
- 復(fù)合結(jié)構(gòu)絲的巨磁阻抗效應(yīng)研究.pdf
- 基于巨磁阻抗效應(yīng)的地磁導(dǎo)航研究.pdf
- 軟磁薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及應(yīng)力阻抗效應(yīng)研究.pdf
- 非對稱縱向驅(qū)動(dòng)巨磁阻抗效應(yīng)研究.pdf
- 軟磁合金薄帶中的巨磁阻抗效應(yīng)分析.pdf
- 非晶態(tài)合金巨磁阻抗效應(yīng)及電流傳感器研究.pdf
- 鈷基非晶軟磁合金薄帶的巨磁阻抗效應(yīng)研究.pdf
- FeCuNbSiB復(fù)合結(jié)構(gòu)多層膜的巨磁阻抗效應(yīng)及磁化特性的研究.pdf
- NiFeSiMn-Mo-Cu-NiFeSiMnMo多層膜的非線性巨磁阻抗效應(yīng).pdf
- TbDyFe薄膜對三明治膜巨磁阻抗效應(yīng)的影響.pdf
- 電鍍NiFe軟磁薄膜巨磁阻抗效應(yīng)研究.pdf
- 非晶軟磁薄膜巨磁阻抗效應(yīng)及應(yīng)力阻抗效應(yīng)研究
- 基于巨磁阻抗效應(yīng)的位移傳感器研究.pdf
評論
0/150
提交評論