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文檔簡介
1、本工作主要研究了二氧化鈦薄膜的制備手段、薄膜光學性質的橢圓偏振測量方法和薄膜生物活性的影響因素。內容和結論主要包括： 1.采用磁控濺射和脈沖激光沉積方法制備二氧化鈦薄膜的過程。通過控制磁控濺射設備進氣管路的氧氣和氬氣的流量，來制備不同結構的薄膜。通過設定不同激光能量來制備不同的薄膜。 2.用橢圓偏振方法測量了所制薄膜的厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)，并通過對消光系數(shù)的數(shù)據(jù)分析得到薄膜的禁帶寬度。 3.通過模擬
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