基于正弦相位調(diào)制的光柵干涉法測(cè)量振動(dòng)物體面形的研究.pdf

1、正弦相位調(diào)制干涉測(cè)量法是對(duì)參考光束進(jìn)行正弦相位調(diào)制，并對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行分析，求出被測(cè)物體物理量的方法。該方法具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量精度高、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在位移、振動(dòng)、表面形貌、微角度測(cè)量等領(lǐng)域已成為一項(xiàng)重要的高精度測(cè)量技術(shù)。 在本論文中，首先介紹了光柵副中光的衍射及干涉現(xiàn)象和頻譜分析原理，并闡述了光柵調(diào)制測(cè)形原理。 其次，根據(jù)正弦相位調(diào)制光柵干涉法的原理對(duì)一個(gè)振動(dòng)物體的二維表面形貌進(jìn)行測(cè)量，選擇合適的光學(xué)元件后，經(jīng)過(guò)光路

2、系統(tǒng)的搭建和調(diào)試，對(duì)帶有正弦振動(dòng)的塑料板進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試，通過(guò)高速工業(yè)相機(jī)采集到一個(gè)正弦振動(dòng)周期內(nèi)不同時(shí)刻的干涉條紋。 最后，根據(jù)位相物體的光學(xué)顯示方法，用MATLAB軟件編寫(xiě)程序，對(duì)在一個(gè)正弦振動(dòng)周期內(nèi)三個(gè)不同時(shí)刻的干涉條紋圖像進(jìn)行處理分析和數(shù)值計(jì)算，分別是位移振動(dòng)到正最大、位移振動(dòng)到接近零和位移振動(dòng)到負(fù)最大的三幅干涉圖，求出這三幅干涉圖的相位分布，進(jìn)而結(jié)合相位分布與振動(dòng)物體面形的關(guān)系，得出了振動(dòng)物體在這三個(gè)位置的二維表面形貌分布