電熱微致動器的多能量域建模與仿真技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微致動器(Microactuator)是微機電系統(tǒng)(MEMS)實現(xiàn)物理功能的關鍵器件，是MEMS應用研究中的熱點。在IC工業(yè)中，先進的CAD系統(tǒng)己有效地用于集成電路的設計與仿真。但它們中的大部分卻不適用于微致動器的設計。由于微致動器是復雜的微機電系統(tǒng)，長期以來微致動器的設計不得不通過直接制造原型的方法來驗證設計，因此對于微致動器多能量域建模和模擬仿真技術正在不斷研究與探索。電熱微致動器是一種用途廣泛的典型電-熱-機械的多能量域集合器件，

2、研究電熱微致動器的多能量域建模和數(shù)值模擬，具有重要的理論意義和應用價值。本文主要研究工作如下： (1)結合多學科知識，對雙熱臂電熱微致動器進行多能量域數(shù)學建模，用解析方法分析其溫度分布和位移特性； (2)利用ANSYS建立雙熱臂電熱微致動器的有限元模型，對其進行仿真分析，并與解析模型所得結果進行比較；利用ANSYS的內部命令和APDL語言以及參數(shù)化技術建立雙熱臂電熱微致動器的有限元參數(shù)化模型，研究溫度場參數(shù)和結構場參數(shù)對

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