SFD-28”油擴(kuò)散泵性能的研究.pdf

1、油擴(kuò)散泵是一種廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化學(xué)、原子能等工業(yè)部門和空間技術(shù)等科學(xué)研究領(lǐng)域的高真空獲得設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，沒有機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)，無振動(dòng)，無噪音，操作方便且能反復(fù)循環(huán)使用，便于維護(hù)，使用壽命長(zhǎng)，因此很受用戶的青睞。但國(guó)內(nèi)擴(kuò)散泵產(chǎn)品與國(guó)外同類產(chǎn)品相比較，在抽速、返油率等主要性能指標(biāo)上還存在較大差距。 為了進(jìn)一步研究擴(kuò)散泵的性能，本文深入分析和討論了擴(kuò)散泵的抽氣機(jī)理和返油原因，運(yùn)用理論與實(shí)踐相結(jié)合的方式，對(duì)SFD-28”直腔矮擴(kuò)散泵進(jìn)行

2、了成功的結(jié)構(gòu)改進(jìn)和調(diào)試，其性能達(dá)到國(guó)際同類產(chǎn)品的領(lǐng)先水平。據(jù)此總結(jié)出的幾點(diǎn)結(jié)論，對(duì)深入研究擴(kuò)散泵理論具有一定指導(dǎo)作用。 同時(shí)，為了簡(jiǎn)化擴(kuò)散泵的設(shè)計(jì)計(jì)算，擺脫手工計(jì)算的繁瑣和誤差，本次研究中運(yùn)用Visual Basic 6.0開發(fā)出了擴(kuò)散泵設(shè)計(jì)軟件。將本軟件用于SFD-28”擴(kuò)散泵的設(shè)計(jì)和改進(jìn)，取得了良好效果。從而，提高了產(chǎn)品設(shè)計(jì)效率，縮短了產(chǎn)品開發(fā)周期，對(duì)生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品改進(jìn)和新產(chǎn)品開發(fā)具有實(shí)際意義。 得出的主要結(jié)論如下：

3、 (1) 一級(jí)噴嘴的尺寸直接影響擴(kuò)散泵的抽速和返油量。慎選一級(jí)噴嘴直徑。選擇合適的何氏系數(shù)確定一級(jí)噴嘴尺寸。 (2) 擴(kuò)散泵泵芯中各級(jí)噴嘴的間隙調(diào)節(jié)直接對(duì)泵的性能產(chǎn)生影響。一級(jí)噴嘴間隙主要決定泵的抽速，一級(jí)噴嘴間隙與后級(jí)噴嘴間隙的配合決定了泵的負(fù)載能力。最后一級(jí)噴嘴間隙對(duì)臨界背壓的影響較大。 (3) 對(duì)于擴(kuò)散泵返油的抑制要從兩方面著手。一是減少一級(jí)噴嘴附近附面層處的返油，二是減少蒸汽射流上界面的返油。慎選一級(jí)噴嘴間