鈮酸鋰相位調制器關鍵技術的研究.pdf

1、鈮酸鋰相位調制器已經廣泛應用于光纖通信、光纖傳感等眾多領域，而在器件的生產過程中，波導制作、V型槽制作、器件耦合封裝及可靠性等幾項關鍵技術對器件整體性能的提高至關重要。
　　本文首先簡單介紹了電光調制器的原理，闡述了鈮酸鋰相位調制器中波導制作、V型槽制作、器件封裝耦合及可靠性等幾項關鍵技術的研究意義，綜述了其研究、發(fā)展現(xiàn)狀。
　　在分析了鈮酸鋰晶體的相關特性、電光相位調制的基本原理以及單模光纖和光波導的對接耦合以后，研究了單

2、模鈮酸鋰條形波導和鈮酸鋰V型槽的制作工藝，提出了使用鈮酸鋰V型槽實現(xiàn)單模光纖與波導耦合的方案。
　　實驗方面，利用實驗室現(xiàn)有條件，在鈮酸鋰晶片上以苯甲酸為質子源，用液相質子交換法制作了條形波導；對用質子交換法實現(xiàn)鈮酸鋰晶體疇反轉進行了一系列實驗研究，在此基礎上提出了質子交換法實現(xiàn)鈮酸鋰晶體疇反轉的工藝過程，實現(xiàn)了疇反轉并腐蝕得到了V型槽；設計制作了帶尾纖的電光相位調制器，最后進行封裝。對實驗過程中發(fā)現(xiàn)的問題進行了分析提出了解決的方