MOCVD技術沉積鎳、鐵膜的設備及工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文第一章緒言部分介紹了MOCVD技術的發(fā)展現(xiàn)狀和展望,以及鎳膜的化學氣相沉積現(xiàn)狀和存在的問題,并闡述了課題的研究目的和意義.第二章重點介紹了實驗裝置的設計和改進,也簡介了工藝原理和測控系統(tǒng).實驗結果表明:相對于立式反應室,使用臥式反應室不僅能夠提高前驅體的利用效率,而且容易保證密封性,另外,在沉積過程中,沉積襯底(玻璃管)上出現(xiàn)溫度梯度,因此在一個實驗周期中可獲得不同溫度下沉積的薄膜.第三章是實驗部分,重點介紹了影響沉積速率的各種因素

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