耐沖擊數(shù)字式壓電石英加速度傳感器研究.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，傳感器技術(shù)在武器裝備中越來(lái)越重要。為了準(zhǔn)確、快速地獲取信息，要求作為感知的傳感器具有良好的綜合性能。加速度傳感器是慣性導(dǎo)航、制導(dǎo)和控制檢測(cè)設(shè)備的重要測(cè)量器件，廣泛用于航空、航海及武器的制導(dǎo)和控制系統(tǒng)。其中，數(shù)字式壓電石英加速度傳感器以其精度高、響應(yīng)快、數(shù)字輸出、抗干擾能力強(qiáng)，以及無(wú)活動(dòng)部件和反饋回路等特點(diǎn)而受到人們的關(guān)注。這種傳感器的使用，對(duì)于提高武器裝備的快速反應(yīng)能力，實(shí)時(shí)實(shí)施監(jiān)控有重要意義。 石英晶體受到

2、力的作用時(shí)其諧振頻率會(huì)無(wú)滯后地隨所加力的大小線性地變化，這一現(xiàn)象稱為石英晶體諧振器的力一頻特性。本文即對(duì)利用這一特性制作的石英加速度傳感器進(jìn)行了研究。 研究?jī)?nèi)容主要圍繞石英加速度傳感器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和制作工藝，在前人工作的基礎(chǔ)上，通過(guò)理論分析、配合相關(guān)實(shí)驗(yàn)重點(diǎn)研究了作為敏感元件的石英晶體諧振器的力一頻特性、加速度傳感器的敏感結(jié)構(gòu)、工作原理、檢測(cè)電路等，總結(jié)了石英晶體諧振器的制作工藝，并對(duì)傳感器性能參數(shù)進(jìn)行了測(cè)試。 本文研