應(yīng)用于極紫外光刻光源的脈沖電源研究.pdf

1、極紫外光刻技術(shù)被認(rèn)為是下一代最有前途的光刻技術(shù)之一。在其關(guān)鍵的EUV光源方面，DPPEUV光源由于其多方面的優(yōu)點(diǎn)受到國際上的廣泛關(guān)注。高功率脈沖電源是DPPEUV光源的能量來源，是光源的核心設(shè)備之一。本文根據(jù)DPPEUV光源實(shí)驗(yàn)的需要，研究設(shè)計(jì)滿足一定要求的高功率脈沖電源，為DPPEUV光源的研究做實(shí)驗(yàn)裝置上的準(zhǔn)備。同時(shí)，該脈沖電源的研究對于脈沖功率技術(shù)在其他領(lǐng)域的應(yīng)用也具有借鑒意義。
　　首先分析了基于毛細(xì)管放電Z箍縮方式的DP

2、PEUV光源的物理過程，計(jì)算了通過等離子體的峰值電流及等離子體的阻抗特性，從而明確了脈沖電源的性能指標(biāo)及負(fù)載特性。并對脈沖電源的放電回路進(jìn)行了仿真分析，為電源的設(shè)計(jì)提供了依據(jù)。
　　在設(shè)計(jì)前對脈沖電源的關(guān)鍵環(huán)節(jié)磁脈沖壓縮網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行了理論分析與電路計(jì)算。首先從磁芯磁化的角度闡述了磁開關(guān)的原理，進(jìn)而對比了硬磁材料與軟磁磁料的磁性特點(diǎn)，為磁開關(guān)的磁芯選擇提供了依據(jù)；接下來分析了磁脈沖壓縮網(wǎng)絡(luò)的工作過程，通過電路計(jì)算推導(dǎo)出了磁脈沖壓縮網(wǎng)絡(luò)中

3、關(guān)鍵參數(shù)的計(jì)算公式。
　　在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了脈沖電源主電路的整體結(jié)構(gòu)。其中，高壓直流充電環(huán)節(jié)采用交流調(diào)壓的充電方式；中間儲(chǔ)能脈沖形成環(huán)節(jié)由諧振倍壓電路及脈沖變壓器組成；采用三級磁脈沖壓縮網(wǎng)絡(luò)作為脈沖壓縮環(huán)節(jié)。對各環(huán)節(jié)電路進(jìn)行了參數(shù)計(jì)算仿真，進(jìn)行了關(guān)鍵器件的選擇、設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)?；诖砰_關(guān)的等效模型對設(shè)計(jì)中采用的三級磁脈沖壓縮網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行了PSPICE仿真，得出了不同情況下磁脈沖壓縮的仿真波形，為實(shí)驗(yàn)調(diào)試提供了參考依據(jù)。
　　最后采用新