版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、微、納米薄膜材料是大規(guī)模集成電路、激光器件、微機(jī)電系統(tǒng)的重要組件。薄膜導(dǎo)熱特性影響著器件和系統(tǒng)運(yùn)行的性能和可靠性,因此研究薄膜的熱傳導(dǎo)性能對(duì)于器件的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定運(yùn)行具有重要意義。本文用實(shí)驗(yàn)手段探討了體態(tài)材料及微尺度結(jié)構(gòu)材料熱傳導(dǎo)中的幾個(gè)問(wèn)題。其目的是為了找到合適的熱電材料,進(jìn)行合理結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)來(lái)提高熱電制冷效率,從而制備一種微型嵌入式制冷器件,為計(jì)算機(jī)芯片、MEMS器件等提供幫助。 本文介紹了MEMS的發(fā)展情況,結(jié)合具體實(shí)例介紹了熱電
2、制冷器件及其基本原理,對(duì)微尺度傳熱的研究現(xiàn)狀進(jìn)行了分類和概括。在此基礎(chǔ)上,采用3ω方法基本原理搭建了導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試系統(tǒng),測(cè)試了體態(tài)硅材料的導(dǎo)熱系數(shù),以及120納米厚二氧化硅薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)。對(duì)體態(tài)硅進(jìn)行測(cè)試的結(jié)果表明,在40K到80K的溫度范圍內(nèi),體態(tài)硅的導(dǎo)熱系數(shù)隨著溫度的升高而增大;而在80K到170K的溫度范圍內(nèi),體態(tài)硅的導(dǎo)熱系數(shù)隨著溫度的降低而減??;證實(shí)雜質(zhì)對(duì)體態(tài)硅材料導(dǎo)熱系數(shù)存在很大的影響,討論了雜質(zhì)濃度與體態(tài)硅導(dǎo)熱系數(shù)的關(guān)系,即隨
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 納米薄膜熱物性的理論與實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 納米薄膜熱物性分子動(dòng)力學(xué)仿真.pdf
- 光聲表征多層納米薄膜熱物性的模型研究.pdf
- 薄膜材料熱物性及其測(cè)試新裝置的研究.pdf
- 基于分子動(dòng)力學(xué)的納米薄膜熱物性研究.pdf
- 土壤熱物性參數(shù)測(cè)試及變化規(guī)律實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 氮化硼納米管熱物性的實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 金屬熱物性參數(shù)
- 稻稈流化床氣化及灰渣熱物性實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 白云鄂博鐵精礦熱物性與還原性實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 基于小型實(shí)驗(yàn)裝置的地源熱泵巖土熱物性研究.pdf
- 熱敏電阻測(cè)量生物熱物性的理論與實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 上海地區(qū)巖土熱物性的實(shí)驗(yàn)與分析研究.pdf
- 基于回歸分析法的混煉膠熱物性實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 蜂窩陶瓷蓄熱體陰力特性和傳熱物性實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 油頁(yè)巖顆粒熱物性與回轉(zhuǎn)窯干餾實(shí)驗(yàn).pdf
- 瀝青混合料熱物性參數(shù)研究.pdf
- 煙草熱物性的測(cè)定與研究.pdf
- 自潤(rùn)濕流體-自潤(rùn)濕納米流體熱物性的實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- MPR技術(shù)測(cè)量材料熱物性的研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論