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1、本文回顧了硫化氫氣體測(cè)定方法的歷史和發(fā)展,描述了氣敏傳感器的研究歷程以及硫化氫半導(dǎo)體氣敏傳感器的研究現(xiàn)狀。實(shí)驗(yàn)選擇了目前新興的熔膠凝膠法制備了燒結(jié)型和薄膜型SnO_2基硫化氫氣敏傳感器,并對(duì)溶膠凝膠法做了一定的改進(jìn),使操作過程變得簡(jiǎn)單,制得的溶膠穩(wěn)定性好。利用實(shí)驗(yàn)室的六通道數(shù)字計(jì)錄儀和電腦實(shí)現(xiàn)了對(duì)電壓的連續(xù)監(jiān)測(cè)。實(shí)驗(yàn)采用測(cè)汞儀輔助測(cè)定硫化氫氣體濃度的方法研究SnO_2基硫化氫氣敏傳感器的性能。一定程度上解決了靜態(tài)法硫化氫濃度的控制問題。
2、對(duì)實(shí)驗(yàn)制得的摻雜Cu的SnO_2基半導(dǎo)體硫化氫傳感器在較低溫度下的敏感性能進(jìn)行了測(cè)定,說明其具有良好的敏感性能。同時(shí)發(fā)現(xiàn)水蒸氣、氨氣對(duì)傳感器阻值的影響在工作溫度達(dá)到一定值時(shí)可以忽略。借助影象分析儀、XRD、AFM等分析手段分析了傳感器的表面形貌、晶態(tài)和組成等。發(fā)現(xiàn)溶膠法制得的薄膜具有網(wǎng)狀結(jié)構(gòu);在XRD圖譜上無CuO的痕跡,也沒有和氧化錫結(jié)合形成新的晶態(tài)物質(zhì),摻雜的Cu以單質(zhì)形態(tài)存在。本實(shí)驗(yàn)建立了一套適合本實(shí)驗(yàn)室的研究方法。最后對(duì)靜電自組
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