超純水系統(tǒng)的監(jiān)控實(shí)現(xiàn)與故障診斷.pdf

1、隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)的建立和壯大，作為供給半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)不可缺少的超純水系統(tǒng)成為保障生產(chǎn)的重中之重。在目前生產(chǎn)超純水的各種各樣的先進(jìn)的水處理設(shè)備中時(shí)常會(huì)出現(xiàn)一些不可預(yù)知的故障，最早人們采用故障診斷的方法是人工方法，由工程技術(shù)人員或者專(zhuān)家憑經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行判斷，或者是利用專(zhuān)門(mén)的儀器進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量得以分析判斷，這些方法在大型復(fù)雜系統(tǒng)中是不現(xiàn)實(shí)的。因此我們要把控制理論、人工智能以及模式識(shí)別等學(xué)科技術(shù)容入到故障診斷技術(shù)中去使其成為一門(mén)相對(duì)獨(dú)立發(fā)展的技術(shù)，成為實(shí)際

2、大規(guī)模復(fù)雜系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程中的可靠保障。
　　 本文首先通過(guò)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的工藝原理和流程分析，采用GE90系列的PLC對(duì)此套超純水系統(tǒng)自動(dòng)化控制進(jìn)行編制，介紹了系統(tǒng)的硬件組成和各個(gè)控制回路的控制要求以及程序流程圖。
　　 針對(duì)于在超純水監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)上采用了組態(tài)王6.5軟件設(shè)計(jì)界面，詳述了組態(tài)王設(shè)計(jì)監(jiān)控界面的過(guò)程，展示了系統(tǒng)詳圖、報(bào)警圖、報(bào)表圖、曲線(xiàn)圖等實(shí)時(shí)監(jiān)控圖面。
　　 作為控制系統(tǒng)，大家熟知的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、模糊數(shù)學(xué)等這

3、些方法通常需要復(fù)雜的計(jì)算，并且只有在信息準(zhǔn)確、完整的情況下才能得到滿(mǎn)意的結(jié)果，而實(shí)際上人們得到的信息往往不準(zhǔn)確、不完整，并且通常設(shè)備的某一故障可以體現(xiàn)在所有的特征信號(hào)之中，而這些信號(hào)之間存在冗余的關(guān)系，可能通過(guò)某個(gè)或少量特征信號(hào)就可以完全表征出該故障。因此一種新的處理模糊和不確定性知識(shí)的數(shù)學(xué)工具粗糙集理論成為越來(lái)越多科研人員的關(guān)注。粗糙集理論是一個(gè)有效的工具，主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)挖掘，其它領(lǐng)域如模糊粗糙集控制、決策分析系統(tǒng)以及醫(yī)療診斷、專(zhuān)家系

4、統(tǒng)等方面都有應(yīng)用，但在故障診斷技術(shù)中的應(yīng)用還不是很多。因此本文嘗試研究粗糙集理論在超純水系統(tǒng)故障診斷中的應(yīng)用，包括建立基本粗糙集模型，以及故障診斷系統(tǒng)的仿真實(shí)驗(yàn)。在介紹了粗糙集的基本概念和理論后，利用收集到的部分?jǐn)?shù)據(jù)進(jìn)行了初步的RS建模、分明矩陣的約簡(jiǎn)和規(guī)則庫(kù)的建立。最后應(yīng)用了VB軟件作為故障診斷系統(tǒng)開(kāi)發(fā)，作為檢驗(yàn)故障診斷系統(tǒng)生成后可行性的平臺(tái)。通過(guò)得到的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行仿真實(shí)驗(yàn)，做到了在保證分類(lèi)能力不變的情況下冗余信息的消除，降低了計(jì)算工