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1、本文研究了利用氮等離子體輔助的分子束外延設(shè)備制備的一系列氮化錳薄膜Mn3N2、Mn2N、Mn4N的磁性能。通過RHEED、XRD、XPS、SEM、AFM以及SQUID等手段對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行了測(cè)量和分析,結(jié)果發(fā)現(xiàn),在晶格失配較大的情況下,兩種不同晶格常數(shù)的Mn3N2出現(xiàn)伴生情況,來減少晶格失配。室溫Mn3N2薄膜表現(xiàn)鐵磁性,主要?dú)w因于復(fù)雜的晶界處Mn原子自旋分布不對(duì)稱。相同條件下,通過改變錳源溫度,研究了六方Mn2N和立方Mn4N薄
2、膜的變化。錳源溫度從900℃變化到1100℃,六方Mn2N薄膜中錳含量隨之發(fā)生變化,先后得到Mn2N1.06、Mn2N0.98和Mn2N0.86。磁性測(cè)量中,室溫下,只有Mn2N0.86薄膜表現(xiàn)了弱鐵磁性,這主要是由于薄膜中存在應(yīng)力,導(dǎo)致晶格被拉伸。錳源溫度的改變對(duì)Mn4N薄膜的影響主要集中表現(xiàn)薄膜形貌的變化上。錳源溫度為1000℃時(shí),Mn4N薄膜為單晶薄膜,生長(zhǎng)方向?yàn)?100>方向,且具有較好的平整性;當(dāng)溫度升高或是降低,薄膜中開始出
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