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文檔簡介
1、該課題對(duì)硅基雙勢(shì)壘隧道發(fā)光器件的制作工藝、光電特性等進(jìn)行了比較系統(tǒng)的研究,取得了一些有意義的結(jié)果.主要在以下幾個(gè)方面:首先,在前人設(shè)計(jì)的MIS器件制作工藝基礎(chǔ)上,研究人員對(duì)硅基隧道發(fā)光器件工藝線制作工藝作了進(jìn)一步的探索,設(shè)計(jì)出了一套MIMIS器件制作工藝,并利用工藝線成功制作出了MIMIS隧道發(fā)光器件,解決了工藝設(shè)計(jì)和器件制作過程中遇到的許多問題,并提出了更完善的MIMIS器件制作工藝設(shè)計(jì).其次,研究人員測(cè)量了所抽行的MIMIS器件光學(xué)
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