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1、該論文研究了基于Sol-Gel方法的改進(jìn)的鋯鈦酸鉛(PZT)鐵電薄膜制備方法.對(duì)為了克服PZT中Pb容易揮發(fā),不易控制其含量,并提高PZT薄膜的抗疲勞特性,PZT進(jìn)行了摻Sr的改性實(shí)驗(yàn),分析了摻Sr的量和退火溫度對(duì)PSZT薄膜特性的影響.最后研究了在PZT摻Sr的極限情況Pb<,0>Sr<,1.0>(ZrTi)O<,3>即SrZrTi(SZT)薄膜的制備和特性.針對(duì)不揮發(fā)鐵是存儲(chǔ)器(FeRAM)流片過程中遇到的問題,對(duì)FeRAM的制作工
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