渦輪分子泵抽氣性能及臨界轉(zhuǎn)速的研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、東北大學(xué)碩士學(xué)位論文渦輪分子泵抽氣性能及臨界轉(zhuǎn)速的研究姓名：孫妍申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：流體機(jī)械及工程指導(dǎo)教師：王曉冬20070101東北大學(xué)碩士學(xué)位論文AStudyforPumpingPerformanceandcriticalspeedofTurbomolecularpumpsAbstractTurbomolecularpumpisavacuumpumpwhichisformedbyastatorandarotorThecircum

2、ferenceofboths臼ItorandrotorcarriesbladespointingintheoppositedirectionEachpairofcircularbladesformapumpingstage80thattheentirepumPismadellpofmanysuchstagesconnectedinseriesTherotorisrotatingwithhighspeedBythepumpingprinc

3、iplewecanseethattheshapeofthebladeandthearrangementoftherotorandstatorhaveagreateffectonthepumpingperformancedataThoughtheexperimentwecomparedpumpingperformanceofthenativeandOVeISCesturbomolecularpumpsandanalyzedthediffe

4、renceoftheconfigurationanddesignThenweadvisodthatwecanWansformtheresearchdirectiontothestudyofthewholerotorinordertohdghtentheleveloftheturbomolecularpumpWetheoreticallyprovedthepumpmgperformanceandcomparedwiththeexperim

5、entalresulttotestifythecoITI∞tnes$ofthemethodBesides，thepump’SreliabilityandstabilityisalsoanimportantproblemSoweuseAnsystodothemodeanalysesandcomputethemodeshapeandcriticalspeedTheresultisthattheshaft’Sdesignspeedexceed

6、sthelimitsofnotresonatingItispossiblethattheturbomolecularpumphappenstOresonatewhenitisworkingInordertoavoidtheresonauceweputforwardsomeadvicetoimprovetheconfigurationoftheturbomolecularpump]l【eywords：Turbomolecularpump；

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