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文檔簡介
1、山東大學碩士學位論文基于MEMS技術的流體測量和流體控制器件姓名:易亮申請學位級別:碩士專業(yè):微電子學與固體電子學指導教師:馬瑾20080504山東大學碩士學位論文探討了飛行器飛行過程中壁面阻力的主要來源的基礎上,仿真設計了微型振動射流執(zhí)行器,振動片在靜電力的作用下上下振動,在振動片向上振動的半個周期內,振動片對近壁面的流動直接進行作用;在振動片向下振動的半周期內,振動片底部的空腔體積減小,空腔內的流體受到擠壓而從振動片上的小孔噴出,形
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