聚酰亞胺撓性加速度傳感器的研究.pdf

1、本論文研究了平面線圈式撓性加速度傳感器的原理和設(shè)計(jì)方法。在提高撓性加速度傳感器質(zhì)量擺片的敏感性和抗沖擊能力，進(jìn)一步增強(qiáng)磁場(chǎng)，增加測(cè)量范圍等方面進(jìn)行了研究。首先采用聚酰亞胺(PI)材料良好的綜合機(jī)械性能制作了敏感質(zhì)量擺片的撓性支承梁，并利用多層熱疊壓工藝制作了敏感質(zhì)量擺片，有效地提高了敏感質(zhì)量擺片的抗沖擊能力，并且簡(jiǎn)化了制作工藝，降低了加工難度。其次研究了磁極力矩器的原理，建立了磁極力矩器磁場(chǎng)分布數(shù)學(xué)模型。利用多層無(wú)縫聯(lián)結(jié)工藝制作了密繞多

2、層螺旋線圈，產(chǎn)生可以調(diào)節(jié)強(qiáng)度大小的磁場(chǎng)，達(dá)到了提高磁場(chǎng)穩(wěn)定性和變換量程的目的。使用液體超順磁材料來(lái)增強(qiáng)磁場(chǎng)，解決了傳感器的磁屏蔽，零磁滯，納米材料的團(tuán)聚、氧化問(wèn)題。 本文共分六章三個(gè)部分。第一部分在閱讀了大量文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上，介紹了常見(jiàn)的加速度計(jì)的類型，研究了石英撓性加速度計(jì)的工作原理，國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀以及當(dāng)前存在的問(wèn)題。第二部分分別研究了敏感質(zhì)量擺片和磁極力矩器，針對(duì)敏感質(zhì)量擺片，研究了撓性支承的彎曲變形、應(yīng)力分布，指導(dǎo)設(shè)計(jì)了撓性支