氮中四氟化碳?xì)怏w標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制.pdf

1、本文的主要工作是研制氮中四氟化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體，填補(bǔ)我國(guó)在這一領(lǐng)域的空白，并探索應(yīng)用電子天平配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的新方法。
　　 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)等方面也有大量應(yīng)用。而四氟化碳又是一種很重要的溫室氣體，在生產(chǎn)和使用過程中，通過擴(kuò)散并釋放到大氣中，破壞臭氧層。四氟化碳?xì)怏w標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是在溫室氣體監(jiān)測(cè)中進(jìn)行化學(xué)量值傳遞的重要組成部

2、分，對(duì)我國(guó)環(huán)境科學(xué)及經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重要的意義。四氟化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體還可以應(yīng)用于三氟化氮、六氟化鎢等特種氣體分析檢測(cè)過程中，為提高特種氣體的純度，增強(qiáng)國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，提供計(jì)量基礎(chǔ)。
　　 本文采用稱量法制備氮中四氟化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體。方法是向容器充入已知純度的一定量的氣體組分前后，分別稱量容器的質(zhì)量，由兩次稱量的差值來(lái)確定所充氣體的量。依次向容器充入原料氣和稀釋氣，從而配制成一種混合氣體。該氣體經(jīng)過氣相色譜法比對(duì)分析，均勻性和穩(wěn)定性測(cè)試，不確

3、定度評(píng)定。結(jié)果表明，配制的四氟化碳?xì)怏w組分濃度均勻、穩(wěn)定，標(biāo)準(zhǔn)混合氣定值準(zhǔn)確，量值可靠，其主要技術(shù)指標(biāo)如下，濃度范圍：5％～0.01％(mol/mo1)擴(kuò)展不確定度U：≤2.0％；(k=2)，均勻性良好；穩(wěn)定時(shí)間：12個(gè)月；充氣壓力：10MPa；使用壓力下限：0.5Mpa。
　　 目前，我國(guó)稱量法配氣中主要采用傳統(tǒng)的懸臂式機(jī)械天平進(jìn)行稱量，精度差，耗時(shí)長(zhǎng)，本文探索和嘗試應(yīng)用電子天平替代懸臂式機(jī)械天平作為質(zhì)量測(cè)量工具，配制標(biāo)準(zhǔn)氣體