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文檔簡(jiǎn)介
1、本文介紹了光刻和離子束刻蝕的相關(guān)知識(shí)，并探索了正膠S1813的光刻條件和Ar+離子束刻蝕的工藝條件，并用摸索出的條件制備了高溫超導(dǎo)約瑟夫森結(jié)，測(cè)試了結(jié)的微波性能。
2、
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