LD泵浦全固態(tài)紫外激光器的研究.pdf

1、LD泵浦全固態(tài)激光器從二十世紀八十年代以來獲得長足的進步，紫外激光器因其在人眼安全波段，光刻的主要光源等重要應用，一直以來就是人們研究的熱點。LD端面泵浦的全固態(tài)紫外激光器效率高、結構緊湊、光束質量好等優(yōu)點而取代準分子激光器成為研究熱點。作者也在紫外方面從理論和實驗方面進行了深入細致的研究： 在被動調Q理論的指導下，充分考慮了被動調Q品體Cr：YAG的激發(fā)態(tài)吸收效應對脈沖激光器性能的影響，延伸了Degnan的被動調Q優(yōu)化理論，直

2、接給出了優(yōu)化設計過程中我們最關心的被動調Q晶體的小信號透過率與輸出耦合鏡的透過率關系，簡化了設計程序。在高斯光束倍頻理論的指導下，改進了傳統(tǒng)的聚焦方式，使結構更為緊湊下，獲得了更高的紫外功率輸出，并且該結構可同時滿足三倍頻，四倍頻的要求。在連續(xù)紫外的研究中，充分考慮到激光器輸出鏡的最佳透過率與倍頻轉換效率之間的關系，詳細了計算了一定泵浦功率時的輸出鏡最佳透過率，并由此優(yōu)化倍頻晶體長度。 設計了一臺高性能的脈沖1064nm紅外激光

3、器，單脈沖運轉，在輸入泵浦為14.5W的時候，峰值功率高達10kW以上、脈寬10ns、脈沖能量為100μJ且脈沖序列穩(wěn)定，單脈沖輸出。腔外一次聚焦，兩次頻率變換，獲得了340mW的355nm脈沖輸出，290mW的266nm脈沖輸出，均為同等情況下國內所見報道的最好結果。 采用簡單的兩鏡腔結構，將二倍頻、三倍頻頻率變換晶體同時放在腔內，還實現了355nm連續(xù)激光的輸出，在泵浦功率為5.6W的時候，輸出功率高達15mW，這是目前報道