版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、蘇州大學(xué)碩士學(xué)位論文使用CHFCHECR等離子體沉積的氟化非晶碳薄膜的結(jié)構(gòu)與性能姓名:康健申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:程珊華2001.5.1AbstractAbstract‘Fluorinatedamorphouscarbonfilms(a—C:FH)weredepositedbymicrowavecyclotronresonanceplasmachemicalvapordeposition(MWECR—CVD)usin
2、gtrifluoromethane(ciⅢ3)andbenzene(C6H6)assourcegasesThestructuresandpropertiesofaC:FHfilmswerecharacterizedbyseveralanalysistechniques,suchasTEM,XRD,F(xiàn)TIR,XPS,UV—VIS0ESandSOonItwasconvincedthatdepositedaC:FHfilmsareamorph
3、ousbybothofTEMandXRDFTIRmeasurementsshowthatFmainlyexistsasC—F,CF2bonds;XPSalsoindicatesthatcarbonandFareCF,CF2chemicallybondedinthefilmsTheopticalgapandFcontentofthefilmsshowthesametrendvaryingpowersItisbasedonthefactth
4、atitwasmainlyinfluencedbyradicalcontentsanddefectquantityIVcharacteristicsshowthatthefilmshaveohmiccharacteristicatlowelectricfieldandfollowSchottkyemittingmechanismathighelectricfieldGraduatestudent:JianKangDirectedby:S
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- CHF-,3-等離子體處理對(duì)SiCOH薄膜性能的影響.pdf
- CHF-,3-等離子體刻蝕SiCOH低k薄膜時(shí)C∶F沉積的影響與控制.pdf
- SiCOH低k薄膜的ECR等離子體沉積與介電性能研究.pdf
- ECR等離子體輔助脈沖激光沉積薄膜的若干應(yīng)用.pdf
- 基于ECR等離子體輔助脈沖激光沉積的薄膜沉積和原位摻雜.pdf
- ECR等離子體輔助脈沖激光沉積技術(shù)和碳基化合物薄膜的制備.pdf
- 表面波等離子體源合成摻氮非晶碳膜及其等離子體診斷.pdf
- 微波等離子體及其功能薄膜沉積.pdf
- 表面等離子體增強(qiáng)碳基薄膜發(fā)光性能.pdf
- 等離子體沉積相關(guān)技術(shù)在制備納米結(jié)構(gòu)碳氮薄膜上的應(yīng)用.pdf
- 微波-ECR等離子體增強(qiáng)非平衡磁控濺射技術(shù)及CN薄膜的制備研究.pdf
- 基于ECR等離子體輔助脈沖激光沉積的氧化鋅薄膜制備與氮摻雜.pdf
- 沉積溫度對(duì)氟化非晶碳薄膜結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的影響.pdf
- 大氣壓DBD等離子體沉積SiOxCyHz結(jié)構(gòu)薄膜及其光學(xué)性能研究.pdf
- 微波ECR等離子體探針檢測(cè)的研究與設(shè)計(jì).pdf
- 等離子體噴涂鐵基非晶合金涂層的工藝與性能研究.pdf
- 等離子體增強(qiáng)CVD合成碳薄膜及其微觀結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 低溫等離子體化學(xué)氣相沉積GaN薄膜.pdf
- 38201.微波ecr等離子體增強(qiáng)磁控濺射制備氮化鋁薄膜
- SiC表面ECR氫等離子體處理研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論