單次旋涂制備光波導(dǎo)傳輸復(fù)合膜.pdf

1、該文的目標是通過向溶膠中加入有機粘合劑的方法,實現(xiàn)在普通載玻片上通過單次旋涂制備厚膜而得到光波導(dǎo).一個具備幾個微米厚度的傳輸薄膜是制備光波導(dǎo)的基礎(chǔ),然而用旋涂法單次制備出200nm以上的薄膜是很困難的.為了嘗試通過單次旋涂制備厚膜,甲基纖維素被當作有機粘合劑加入SiO<,2>溶膠,為了防止開裂我們加入了聚乙二醇做化學控制干燥劑,最終通過單次旋涂得到了900nm厚的SiO<,2>/MC/PEG膜.為改善膜的質(zhì)量、提高材料性能,對樣品進行了

2、退火.高溫退火可能是提高產(chǎn)品質(zhì)量的一種有效途徑,然而退火所需的高溫也可能同時會對產(chǎn)品有不利影響比如開裂、翹曲、變形、晶相變化、原子擴散以及其它不良后果.為了研究低溫退火,準分子激發(fā)態(tài)紫外光輻照技術(shù)被用來進行輔助退火:在0.2 bar O<,2>氣氛和222nm紫外光條件下對樣品從室溫到300度進行處理.對不同條件下處理的樣品用掃描電鏡(SEM),熱重分析(TGA),傅立葉轉(zhuǎn)換紅外光譜(FTIR),紫外-可見光譜(UV-VIS),X射線光

3、電子能譜(XPS)表征,發(fā)現(xiàn)紅外光譜中約2900cm<'-1>處對應(yīng)-CH<,2>-的吸收峰在較低溫度下消失,表明紫外光產(chǎn)生的活性氧可提高退火效果,展現(xiàn)了這種退火技術(shù)在光、電材料科學中的應(yīng)用前景.改進了制備工藝以后,通過單次旋涂得到SiO<,2>/TiO<,2>/Methylcellulose復(fù)合薄膜.樣品在70度下干燥一小時后,成為2.5微米厚、無裂而致密的有機無機復(fù)合薄膜,這種薄膜材料的折射率可達到1.537.它和普通載玻片組成的光