版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、由于各向異性磁電阻(AMR)傳感器能夠精確測量地磁場的方位,因此它在軍事領(lǐng)域的精確定向以及民用領(lǐng)域的航空、航天、航海、機(jī)器人、車輛定位等方面具有非常廣闊的應(yīng)用前景。目前,國外Honeywell、Philips等公司各自推出了用于方位測量的三維AMR傳感器,而國內(nèi)還未掌握三維AMR傳感器的核心技術(shù)。在此背景前提下,結(jié)合國內(nèi)某些領(lǐng)域?qū)Ψ轿痪_測量的迫切需求,本文將開展用于方位測量的AMR傳感器及電路研究。 論文首先設(shè)計(jì)了兩種AMR傳
2、感器的結(jié)構(gòu),分別是一維AMR傳感器和二維AMR傳感器,用于組成三維AMR傳感器。同時(shí),設(shè)計(jì)了補(bǔ)償線圈以及復(fù)位/置位線圈,分別用于AMR傳感器的溫度補(bǔ)償以及抗電磁干擾,以提高AMR傳感器的測量精度。隨后,采用ANSYS有限元分析軟件對(duì)補(bǔ)償線圈和復(fù)位/置位線圈的電磁學(xué)性能進(jìn)行了仿真,為其產(chǎn)生均勻分布的磁場提供理論依據(jù)。為進(jìn)一步提高AMR傳感器的性能,在AMR磁電阻的表面還設(shè)計(jì)了Barber電極,并采用ANSYS有限元分析軟件對(duì)其功能進(jìn)行了仿
3、真,驗(yàn)證了設(shè)計(jì)的正確性。在此基礎(chǔ)上,采用L-Edit軟件完成了一維AMR傳感器、二維AMR傳感器、補(bǔ)償線圈、復(fù)位/置位線圈的版圖設(shè)計(jì)。 在AMR傳感器的工藝制作方面,為了減小AMR傳感器中磁性薄膜的應(yīng)力,根據(jù)本實(shí)驗(yàn)室濺射鍍膜系統(tǒng)的特點(diǎn),首先設(shè)計(jì)了能夠產(chǎn)生均勻誘導(dǎo)磁場的基片底座。隨后,采用磁控濺射方法制備了磁性薄膜。在此基礎(chǔ)上,采用Lift-off工藝制作了AMR磁電阻,進(jìn)而完成了兩維AMR傳感器的制作,并利用四探針法測試了AMR
4、傳感器的性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在飽和磁場情況下,其電阻相對(duì)變化率為0.87%。論文給出了進(jìn)一步提高AMR傳感器靈敏度的方法。 在AMR傳感器的信號(hào)處理電路方面,設(shè)計(jì)了能夠同時(shí)檢測三維AMR傳感器的信號(hào)處理電路,包括信號(hào)放大電路、數(shù)據(jù)采集電路、復(fù)位/置位電路、串口通信電路等,并采用Orcad軟件對(duì)復(fù)位/置位電路進(jìn)行了仿真,在此基礎(chǔ)上完成了電路系統(tǒng)的研制。為了驗(yàn)證其功能,用該電路系統(tǒng)對(duì)商用的標(biāo)準(zhǔn)AMR傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行了測試,結(jié)果表
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 三維流速傳感器信號(hào)調(diào)理電路的研究.pdf
- 三維流速傳感器信號(hào)調(diào)理電路的研究(1)
- 集成濕度傳感器信號(hào)處理電路的研究.pdf
- 指尖三維力傳感器與仿生觸須傳感器的研究.pdf
- 三維姿態(tài)傳感器的研制.pdf
- 光纖三維矢量傳感器研究.pdf
- 壓電式六維力傳感器結(jié)構(gòu)仿真及信號(hào)處理電路設(shè)計(jì).pdf
- 單片集成三維磁場傳感器研究.pdf
- LVDT位移傳感器數(shù)字信號(hào)處理算法及電路研究.pdf
- 基于FPGA的FBAR傳感器信號(hào)檢測與處理電路研究.pdf
- 聲表面波傳感器信號(hào)處理電路的設(shè)計(jì).pdf
- 真空微電子加速度傳感器信號(hào)處理電路的研究.pdf
- 線結(jié)構(gòu)光三維傳感器設(shè)計(jì).pdf
- MEMS加速傳感器硬件電路設(shè)計(jì)與信號(hào)處理的研究.pdf
- 爆震傳感器信號(hào)分析及其處理電路模擬仿真.pdf
- 傳感器信號(hào)模擬電路設(shè)計(jì)研究.pdf
- 三維ECT電容傳感器研究與設(shè)計(jì).pdf
- 三維流速傳感器力標(biāo)定系統(tǒng)的研究.pdf
- 應(yīng)變式三維測振傳感器研究.pdf
- 無線傳感器網(wǎng)絡(luò)三維定位算法的研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論