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1、我們注意到,在研究氫、氦離子注入誘生微孔的吸除作用時(shí)多以對(duì)金雜質(zhì)的吸除效果來(lái)對(duì)吸除工藝進(jìn)行評(píng)估,因此該文對(duì)微孔吸除機(jī)理、金在硅中的擴(kuò)散和分布以及半導(dǎo)體中離子注入的特點(diǎn)進(jìn)行了描述.在該工作中,通過(guò)原子力顯微鏡(AFM)觀測(cè)到注氦的參比樣品中則無(wú)此圖像出現(xiàn),因此我們定性認(rèn)為該研究中注入硅中的氦,在熱處理過(guò)程中的確形成了微孔.該研究主要采用摻金的雙面拋光片和單面拋光片制成的硅平面二極管為研究樣品,利用二極管反向漏電流密度J<,r>的變化,著重
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