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1、當(dāng)薄膜的厚度小到一定程度后,它的熱物理性質(zhì)就會(huì)不同于相應(yīng)的體材料,體現(xiàn)出微尺度特性.該論文從實(shí)驗(yàn)角度出發(fā),采用交流量熱法對(duì)二氧化硅、氮化硅和多晶硅薄膜的熱擴(kuò)散率進(jìn)行研究.該文首先簡(jiǎn)要介紹了熱傳導(dǎo)的概念、微尺度判據(jù)的微尺度對(duì)宏傳熱理論的挑戰(zhàn);接著總結(jié)了兩步模型、聲子輻射傳輸模型、聲子散射模型和熱波模型等微觀傳熱模型;然后介紹薄膜熱擴(kuò)散率的測(cè)量方法,重點(diǎn)是交流量熱法的基本原理、實(shí)驗(yàn)中所用樣品的設(shè)計(jì)和制備、實(shí)驗(yàn)裝置以及主要儀器的工作原理;最后
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