位錯型微機械可變式光衰減器的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文設(shè)計了一種新型的電磁驅(qū)動位錯型微機械可變式光衰減器，它的工作波長為1550nm，主要由平面線圈型微驅(qū)動器、硅彈性系統(tǒng)和單模光纖三部分組成。其工作原理是：平面線圈型微驅(qū)動器驅(qū)動由硅懸臂梁支撐的硅彈性平臺，使得安裝在此平臺上的輸入輸出光纖產(chǎn)生徑向位錯，造成耦合效率的降低從而實現(xiàn)對光功率的衰減。 分別采用磁路定理和畢奧-薩伐爾定理分析了本文所設(shè)計的鐵芯型微驅(qū)動器和所產(chǎn)生的電磁力。在分析計算的基礎(chǔ)上，并結(jié)合實際加工工藝對鐵芯型微驅(qū)動

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