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1、 本文在閱讀國內(nèi)外相關(guān)文獻的基礎(chǔ)上，利用實驗室現(xiàn)有條件，對基于非硅基微加工技術(shù)的光開關(guān)及可調(diào)光衰減器的設(shè)計、制作進行了分析探討和深入研究?！ ”疚慕榻B了全光通信與光無源器件的背景情況，研制開發(fā)了一種全金屬化非硅基底可擴展1×8微加工型光開關(guān)；應用有限元方法進行了器件開關(guān)時間的理論分析，器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計，并給出樣品的實測結(jié)果；設(shè)計制作了數(shù)字化高速可調(diào)光衰減器是基于微加工驅(qū)動器的透射微鏡陣列，此方案結(jié)構(gòu)獨特，能在小于2ms的短時間里實
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