版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、采用真空蒸發(fā)兩步法在玻璃襯底上制備性能良好的ZnO薄膜和Dy、La和CeO2摻雜ZnO多晶薄膜。研究制備工藝、摻雜元素、含量及氧化、熱處理工藝對(duì)ZnO薄膜結(jié)構(gòu)特性、光電及氣敏特性的影響。對(duì)薄膜進(jìn)行物相結(jié)構(gòu)、表面形貌、光學(xué)、電學(xué)及氣敏特性測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:以高純Zn粉蒸發(fā)制備出Zn膜和Dy、La、CeO2摻雜的Zn薄膜,然后在T=500-550℃氧氣流量500ml/min同時(shí)進(jìn)行氧化、熱處理,可獲得纖鋅礦結(jié)構(gòu)的ZnO多晶薄膜。當(dāng)氧化、熱
2、處理T=500℃,t=45min時(shí),ZnO薄膜呈高度c軸(002)擇優(yōu)取向,平均晶粒尺寸為27.979nm。適量摻Dy、La和CeO2后都可抑制ZnO晶粒的擇優(yōu)取向生長(zhǎng),同時(shí)降低了ZnO薄膜的電阻。
SEM分析給出:ZnO薄膜表面均呈顆粒針狀型結(jié)構(gòu),粒狀型晶粒是非規(guī)則完整的六角形。未摻雜ZnO薄膜表面連續(xù)性較差,顆粒聚集效應(yīng)明顯;摻Dy、La和CeO2后ZnO薄膜表面顆粒細(xì)化,聚集效應(yīng)明顯得到改善,比表面積增大,表面平整、
3、致密度增加。
純ZnO薄膜有較高的光透射率約80%(入射波長(zhǎng)350-900nm內(nèi));Dy、La、CeO2摻雜后ZnO薄膜光透射率均有不同程度的降低。純ZnO薄膜的光學(xué)帶隙約3.34eV,摻Dy、La和CeO2后薄膜的光學(xué)帶隙在3.20-3.31eV范圍。
采用穩(wěn)壓靜態(tài)配氣法測(cè)試ZnO薄膜氣敏特性。適量摻入Dy、La和CeO2后可大大降低ZnO薄膜的工作溫度,改善ZnO薄膜對(duì)乙醇和丙酮?dú)怏w的敏感性。
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 稀土離子摻雜ZnO薄膜的制備及特性研究.pdf
- 摻雜CeO-,2-電解質(zhì)薄膜的磁控濺射制備工藝探索.pdf
- Gd摻雜CeO-,2-電解質(zhì)薄膜的生長(zhǎng)與電學(xué)特性研究.pdf
- 稀土納米氧化物CeO-,2-粉體制備工藝研究.pdf
- 摻雜CeO-,2-基IT-SOFC關(guān)鍵材料的制備和性能研究.pdf
- Gd-,2-O-,3-摻雜CeO-,2-電解質(zhì)薄膜的生長(zhǎng)及電學(xué)性能.pdf
- 濺射法制備CeO-,2--TiO-,2-薄膜的結(jié)構(gòu)性能研究.pdf
- 稀土CeO-,2-增強(qiáng)型多孔鈦的制備及生物學(xué)性能研究.pdf
- 稀土摻雜ZnTe納米薄膜制備及特性研究.pdf
- 稀土摻雜納米TiO-,2-薄膜光催化特性研究.pdf
- CeO-,2-納米顆粒的制備及室溫鐵磁性研究.pdf
- Sol-Gel法CeO-,2--TiO-,2-薄膜的制備及其性能的研究.pdf
- CeO-,2-基電解質(zhì)薄膜的溶膠-凝膠法制備及電性能研究.pdf
- In摻雜ZnO薄膜的制備與特性研究.pdf
- 納米孔結(jié)構(gòu)La-,2-(MoO-,4-)-,3-和CeO-,2-稀土材料的構(gòu)建及其性能研究.pdf
- MOCVD法制備摻雜SnO-,2-薄膜及特性研究.pdf
- 納米CeO-,2-的制備及光催化降解甲基藍(lán).pdf
- 鈦鋯摻雜CeO-,2-磨料的制備及其化學(xué)機(jī)械拋光性能.pdf
- 水熱法制備納米CeO-,2-粒子及其表征.pdf
- 磁控濺射法制備CeO-,2--TiO-,2-復(fù)合薄膜的微結(jié)構(gòu)與性能.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論